マニュアルマスクアライナー

半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に用いられるマニュアル式マスクアライナーです。
開発・試作用途および、小・中ロットのデバイス製造用途に最適です。
250W～5kWまでの光源をラインアップ。最大φ220mmまで露光サイズに対応します。