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UPE-1255ATL
カセットtoカセット搬送システムを搭載した全自動一括露光装置です。 多様なデバイスの量産用アライナーとして、ローダ、アンローダ搬送システムを構築し、生産量アップに貢献します。
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マニュアルマスクアライナー
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UPE-20002LU
半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に用いられるマニュアル式マスクアライナーです。 開発・試作用途および、小・中ロットのデバイス製造用途に最適です。 250W～5k...
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