8インチ対応のプロキシミティ露光装置の販売を開始
同方式としては最高クラスの解像力3μmL/Sを実現、
電子部品をはじめとした幅広い用途のTCO低減に貢献する露光装置
ウシオグループの一員であるウシオライティング株式会社(東京都中央区 / 代表取締役社長：渡邉 剛徳､以下｢ウシオライティング｣)は､パワーデバイスやSAWフィルター、水晶振動子などの電子部品製造向けのプロキシミティ露光機『PXSシリーズ』を2023年8月から販売開始することをお知らせします｡
本製品は､エレクトロニクス関連の製造工程において、緻密な回路などを露光（プリント）するプロセスで使用されるプロキシミティ方式＊1の露光装置です。
代表的な露光方式には、マスク（回路図）とワーク（半導体ウエハなど）を接触させる「コンタクト方式」、マスクとワークの間にレンズ光学系を組み込むことで焦点調整が可能な非接触の「投影方式」、マスクとワークを非接触で近接させて露光する「プロキシミティ方式」があります。
一般的にコンタクト方式は、低コストで導入できるものの、接触式であるため、マスクとワーク双方がダメージを受けることで、高額なマスク交換や製品の歩留まり低下につながるという課題があります。
また、投影方式は、非接触かつ高生産性で高い歩留まりを実現できるものの、装置の本体価格が高額なため、中小規模の工場では導入が難しいという背景があります。
一方、プロキシミティ（PX）方式は、非接触方式かつ導入しやすい価格によりＴＣＯ低減に貢献できるという特長がありますが、「解像力（精度）の低さ」、「大型ワークへの対応が困難」という課題がありました。
それに対し、今回販売を開始するＰＸＳシリーズは、プロキシミティ方式としては最高クラスといえる3μmL/Sの解像力を実現。それに加え、電子デバイス製造では大型のワークである6インチまたは、8インチウエハに対応しています。これにより電子部品の露光プロセスにおいてTCO低減に貢献することができます。
また、ＰＸＳシリーズはオートアライメントおよび搬送機能を搭載することで作業者の熟練度に左右されることなく、安定した品質を保持することができるとともに、自動化された量産ラインに組み込むことが可能です。
＊1 本機はプロキシミティ方式および、コンタクト方式を兼用できます
PXS-102068の主な特長
①TCO低減に貢献
・PX方式ならではの低ランニングコスト
・導入しやすい価格を実現
②プロキシミティ方式として最高クラスの解像力3μmL/Sを実現
③6インチおよび、8インチウエハに対応
④スループット 150WPH（2ndアライメント）以上を達成
⑤量産向けオートアライメント、オート搬送で自動化ラインに対応
⑥オプションとして、新方式の裏面アライメントを準備
主な仕様
主な用途
LED、水晶振動子、SAWフィルター、パワー半導体等の製造工程
販売について
販売価格：オープン
販売目標：50台(年間)
■国内発売開始日：2023年8月
資料
NewsReleas_8インチ対応のプロキシミティ露光装置（PXSシリーズ）の販売を開始