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オートマスクアライナー現行品この行をチェック UPE-1255ATL カセットtoカセット搬送システムを搭載した全自動一括露光装置です。多様なデバイスの量産用アライナーとして、ローダ、アンローダ搬送システムを構築し、生産量アップに貢献します。	製品画像
マニュアルマスクアライナー現行品この行をチェック UPE-20002LU 半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に用いられるマニュアル式マスクアライナーです。開発・試作用途および、小・中ロットのデバイス製造用途に最適です。 250W～5k...	製品画像		製品カタログ
ロールｔｏロール現行品この行をチェックロールｔｏロールタッチパネル、電子ペーパー、液晶ディスプレイ、有機EL、太陽電池といったフレキシブル基板の回路形成を行うための装置です。ロールtoロールでピッチを送り出し、ドライフィルムやPETフイルム上にパター...	製品画像		製品カタログ

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